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中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍,,可以在相對較低的真空度下工作,,通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本,,還縮短了抽真空的時間,提高了工作效率。
CEM3000系列臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,,不同于立式電鏡,,它無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果,。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測需求,;
2.快速抽放氣,,縮短等待時間;
3.高易用性
可快速成像,,一鍵成片,;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力,;
6.可選配低真空模式,,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測,。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品,;
8.多探測器
可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像,。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,,無需過多人工調(diào)節(jié),。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,。
3.超大景深毫米級別景深,,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像,。
5.抗振性能優(yōu)異,。
應(yīng)用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊,空間適用性強,,整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計,,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍,。同時,,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,,具有高空間分辨率,。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進(jìn)行分析,。
憑借中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強,,用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項操作,。甚至在自動程序的幫助下,,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片,。
CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設(shè)計,,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),,以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,,滿足不同樣品的觀測需求。此外,,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué),、生命科學(xué),、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,。
機(jī)型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動環(huán)境設(shè)計,,抽氣更快(低真空僅40秒),,成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),,優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配:自動合軸、自動聚焦,、自動消像散,、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量,、纖維測量,、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,,T |
手動軸 | R,,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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